平成11年度CVD研究会活動記録
■第29回CVD研究会「第10回夏季セミナー」(平成11年8月19〜20日、国際交流セミナー皇子が丘荘)
1) | 赤外半導体レーザー吸光分光法によるCVD化学種の計測 | 名古屋大学 | 堀 勝、後藤敏夫 |
2) | 熱CVD法による強誘電体薄膜の合成 | 東京工業大学 | 東京工業大学 |
3) | 高密着性α―Al2O3被覆工具の開発 | 日立金属(株) | 石井敏夫 |
4) | ナノチューブ(カーボン、BN)の合成、構造、特性 | 三重大学 | 斎藤弥八 |
5) | 単一蒸発容器を持つ多成分膜堆積MOCVD装置の開発とPbTiO3への応用 | 東京理科大学 | 伊藤 滋 |
6) | CVD法によるAl2O3超微粒子の合成とナノ構造セラミックスの作製 | 豊橋技術科学大学 | 金 熙濬 |
7) | 黒鉛上へのCVD-SiCコーティングの高温耐酸化性と微細構造 | 日新製鋼(株) | 金月俊樹 |
8) | パルスCVIによるリチウムイオン二次電池電極の作製 | 愛知工業大学 | 大澤善美 |
■第30回CVD研究会(平成11年11月26日、愛知厚生年金会館)
1) | 高温CVD法によるB/C/N系膜の合成と物性 | 大阪電気通信大学 | 川口雅之 |
2) | C/C複合材料の耐SiCコーティング | 宇宙科学研究所 | 八田博志 |
3) | CVD装置内の濃度、温度および流れの可視化 | 九州大学 | 佐藤恒之 |
4) | CVD法による熱電変換材料の合成 | 工業技術院 | 向田雅一 |
5) | プラズマCVDの反応解析 | NEC(株) | 大下祥雄 |
6) | 第12回EURO−CVD国際会議報告in Spain | 岐阜大学工学部 | 元島栖二 |