平成11年度CVD研究会活動記録

第29回CVD研究会「第10回夏季セミナー」(平成11年8月19〜20日、国際交流セミナー皇子が丘荘)

1) 赤外半導体レーザー吸光分光法によるCVD化学種の計測 名古屋大学 堀 勝、後藤敏夫
2) 熱CVD法による強誘電体薄膜の合成 東京工業大学 東京工業大学
3) 高密着性α―Al2O3被覆工具の開発 日立金属() 石井敏夫
4) ナノチューブ(カーボン、BN)の合成、構造、特性 三重大学 斎藤弥八
5) 単一蒸発容器を持つ多成分膜堆積MOCVD装置の開発とPbTiO3への応用 東京理科大学 伊藤 滋
6) CVD法によるAl2O3超微粒子の合成とナノ構造セラミックスの作製 豊橋技術科学大学   熙濬
7) 黒鉛上へのCVD-SiCコーティングの高温耐酸化性と微細構造  日新製鋼() 金月俊樹
8) パルスCVIによるリチウムイオン二次電池電極の作製 愛知工業大学 大澤善美

 

第30回CVD研究会(平成11年11月26日、愛知厚生年金会館

1) 高温CVD法によるB/C/N系膜の合成と物性 大阪電気通信大学 川口雅之
2) C/C複合材料の耐SiCコーティング 宇宙科学研究所 八田博志
3) CVD装置内の濃度、温度および流れの可視化 九州大学 佐藤恒之
4) CVD法による熱電変換材料の合成 工業技術院 向田雅一
5) プラズマCVDの反応解析  NEC()  大下祥雄
6) 12回EURO−CVD国際会議報告in Spain 岐阜大学工学部 元島栖二