平成13年度CVD研究会活動記録

第33回CVD研究会「第12回夏季セミナー」(平成13年8月23〜24日、長浜市サイクリングターミナル・ホテル

1) ドライプロセスによる機械的特性の向上の現状と将来 茨城大学客員教授 池永 勝
2) CVD処理の寸法変化 清水電設工業() 木下安正・北山末次
3) エネルギー応用を目指したSiC/SiC複合材料のF-CVI法による開発  京都大学 香山 晃
4) 大気開放型CVD法による酸化物ミクロ構造制御 長岡技術科学大学 斎藤秀俊
5) FIBCVD法による三次元構造形成技術 セイコウインスツルメンツ() 皆藤 孝
6) 貴金属MOCVDプロセス 田中貴金属工業() 岡本浩治
7) フロロカーボン膜のプラズマCVD    京都大学国際融合創造センター 白藤 立
8) プラズマCVDによる微粒子成長とクーロン結晶の形成 京都工芸繊維大学 林 康明
9) CVD法によるタングステン系化合物の厚膜合成 セントラル硝子() 徳永敦之
10 第2回アジアCVD会議報告  岐阜大学 元島栖二

 

第34回CVD研究会(平成13年11月30、名古屋大学豊田講堂

1) 高密度プラズマとエッチング・薄膜形成への応用 名古屋大学大学院工学研究科 堀 勝・後藤俊夫
2) 球状インデンターによるガラス状炭素へのナノインデンテーション 産業技術総合研究所・エネルギー利用研究部門 岩下哲雄
3) ガスタービン用材料の耐熱コーテイング ()日立製作所・日立研究所 有川秀行
4) 気相膜の応力・硬度・密着力 元 住友金属鉱山()中央研究所 市村博司
5) 耐高温環境用拡散浸透プロセスとその応用 トーカロ() 原田良夫