平成13年度CVD研究会活動記録
■第33回CVD研究会「第12回夏季セミナー」(平成13年8月23〜24日、長浜市サイクリングターミナル・ホテル)
1) | ドライプロセスによる機械的特性の向上の現状と将来 | 茨城大学客員教授 | 池永 勝 |
2) | CVD処理の寸法変化 | 清水電設工業(株) | 木下安正・北山末次 |
3) | エネルギー応用を目指したSiC/SiC複合材料のF-CVI法による開発 | 京都大学 | 香山 晃 |
4) | 大気開放型CVD法による酸化物ミクロ構造制御 | 長岡技術科学大学 | 斎藤秀俊 |
5) | FIB―CVD法による三次元構造形成技術 | セイコウインスツルメンツ(株) | 皆藤 孝 |
6) | 貴金属MOCVDプロセス | 田中貴金属工業(株) | 岡本浩治 |
7) | フロロカーボン膜のプラズマCVD | 京都大学国際融合創造センター | 白藤 立 |
8) | プラズマCVDによる微粒子成長とクーロン結晶の形成 | 京都工芸繊維大学 | 林 康明 |
9) | CVD法によるタングステン系化合物の厚膜合成 | セントラル硝子(株) | 徳永敦之 |
10) | 第2回アジアCVD会議報告 | 岐阜大学 | 元島栖二 |
■第34回CVD研究会(平成13年11月30、名古屋大学豊田講堂)
1) | 高密度プラズマとエッチング・薄膜形成への応用 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 堀 勝・後藤俊夫 |
2) | 球状インデンターによるガラス状炭素へのナノインデンテーション | 産業技術総合研究所・エネルギー利用研究部門 | 岩下哲雄 |
3) | ガスタービン用材料の耐熱コーテイング | (株)日立製作所・日立研究所 | 有川秀行 |
4) | 気相膜の応力・硬度・密着力 | 元 住友金属鉱山(株)中央研究所 | 市村博司 |
5) | 耐高温環境用拡散浸透プロセスとその応用 | トーカロ(株) | 原田良夫 |