平成1４年度ＣＶＤ研究会活動記録
■第３５回ＣＶＤ研究会「第13回夏季セミナー」（平成14年8月19〜20日、城陽市ｻｲｸﾘﾝｸﾞﾀｰﾐﾅﾙ･ﾎﾃﾙ）
| １） | 超硬質薄膜の合成とその応用 | (株)イオン工学研究所 | 池田 孜 |
| ２） | 有機ケイ素を前駆体としたイオンビーム誘起ＣＶＤ法 | 産業技術総合研究所･生活環境系特別研究体 | 松谷貴臣 |
| ３） | 電子ビーム励起プラズマ(ＥＢＥＰ)の特長とその応用 | 川崎重工業(株) | 伴 雅人 |
| ４） | シリカのＣＶＤによるゼオライト細孔入口径の精密制御 | 鳥取大学工学部物質工学科 | 丹羽 幹 |
| ５） | 有機単分子膜の気相成長と微細加工への応用 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 杉村博之 |
| ６） | プラズマＣＶＤ法による金型の表面処理 | オリエンタルエンヂニアリング(株) | 河田一喜 |
| ７） | ＡＦＭによる極薄膜の耐摩耗性と密着性の評価 | 千葉工業大学工学部 | 梅村 茂 |
| ８） |
■第３６回ＣＶＤ研究会（平成14年12月11、名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー）
| １） | ナノコーティングプロジェクトの研究内容−EB,PVDによるセラミックスコーティング技術を中心に− | (財)ファインセラミックスセンター | 松原秀彰 |
| ２） | バルク超伝導体を利用した強磁場プラズマ成膜装置 | 名古屋大学理工科学総合研究センター | 生田博志 |
| ３） | 大気圧ハライドＣＶＤによる金属窒化物薄膜の合成 | 静岡大学工学部物質工学科 | 高橋直行 |
| ４） | プラズマＣＶＤ法による内壁へのＤＬＣ成膜 | ナノテック(株)テクニカルセンター | 藤原眞二 |
| ５） | 機能性複酸化物薄膜のＭＯＣＶＤ合成 | 東京工業大学大学院総合理工学研究科 | 舟窪 浩 |
| ６） | 気相法表面処理の基礎と応用 | 物質・材料研究機構 | 武井 厚 |