平成15年度CVD研究会活動記録
■第37回CVD研究会「第14回夏季セミナー」(平成15年8月21〜22日、大津市サイクリングターミナル・ホテル)
1) | CVD法による3C-SiCのヘテロエピタキシャル成長 | 京都工芸繊維大学 | 西野茂弘 |
2) | 触媒CVD技術の大面積次世代ディスプレイへの応用 | 北陸先端科学技術大学院大学 | 増田 淳 |
3) | ナノ粒子の合成と機能材料への応用 | 広島大学大学院工学研究科 | 奥山喜久夫 |
4) | 光化学的手法を用いたポリマー基板へのオキサイドナノスキンコーティング | 産業技術総合研究所 | 穂積 篤 |
5) | CVDダイヤモンドの機械分野への適用 | (株)不二越 | 神田一隆 |
6) | C/Cコンポジットへの耐酸化被覆 | 日新製鋼(株) | 大塚昭彦 |
7) | プラズマジェットCVDによるc-BN膜の合成 | 物質・材料研究機構 物質研究所 | 松本精一郎 |
8) | 熱CVDの反応工学 | 九州大学先導物質化学研究所 | 秋山泰伸 |
■第38回CVD研究会(平成15年12月10、名古屋大学豊田講堂)
1) | アークプラズマプロセスによるカーボンナノチューブ・ナノホーンの合成 | 豊橋技術科学大学 | 滝川浩史 |
2) | 化学気相反応によるSiC多孔質体とナノ構造体の合成 | 大阪府立大学大学院工学研究科 | 間渕博 |
3) | CVD法で被覆した硬質膜のX線残留応力測定と強度評価 | 名古屋大学工学研究科 | 田中啓介 |
4) | テトラポット状ZnO結晶及びカーボンコイルの評価法 | 長崎大学工学部 | 岩永 浩 |
5) | 強磁場化学気相法による高温超伝導セラミックス膜の成長 | 東北大学金属材料研究所 | 淡路 智 |
6) | 遮熱コーティングのための高速CVDプロセスの開発 | 東北大学金属材料研究所 | 後藤 孝 |