•½¬1‚U”N“x‚b‚u‚cŒ¤‹†‰ïŠˆ“®‹L˜^
¡‘æ‚R‚X‰ñ‚b‚u‚cŒ¤‹†‰ïu‘æ1‚T‰ñ‰Ä‹GƒZƒ~ƒi[vi•½¬16”N8ŒŽ19`20“úAKKRƒzƒeƒ‹‚т킱)
‚Pj | ƒpƒ‹ƒXCVI–@‚É‚æ‚郊ƒ`ƒEƒ€ƒCƒIƒ““ñŽŸ“d’r•‰‹É—p’Y‘f‚̇¬ | ˆ¤’mH‹Æ‘åŠw | ‘åàV@‘P”ü |
‚Qj | ‘å‹Cˆ³‹C‘Š¬’·–@‚É‚æ‚é…»”––Œ‚Ìì» | ɪ‘åŠwHŠw•”•¨Ž¿HŠw‰È | ’†‘º@‚‰“ |
‚Rj | —L‹@‚b‚‚”|‚b‚u‚c‚ÌŠî‘b‚Ɖž—p | ‘åãŽs—§‘åŠw•‘åãŽs—§‘åŠw”ÍÞÝÁ¬°(—L)ÏÃرÙÃÞ»Þ²Ý̧¸ÄØ° |
’†ŽR@O |
‚Sj | ƒnƒtƒjƒEƒ€Ž_‰»•¨‚É‚æ‚éŽÕ”MƒR[ƒeƒBƒ“ƒO | (Š”)“ŒŽÅ@“d—Í¥ŽÐ‰ïƒVƒXƒeƒ€‹ZpŠJ”ƒZƒ“ƒ^[ | ¼–{@ˆêG |
‚Tj | ‚c‚k‚b–Œ‚̶‘ÌÞ—¿‚Æ‚µ‚Ẳž—p | “Œ‹ž“d‹@‘åŠw—HŠw•” | •½ŒI@Œ’“ñ |
‚Uj | ƒ}ƒCƒNƒ”g‚b‚u‚c‚É‚æ‚éƒiƒmŒ‹»ƒ_ƒCƒ„ƒ‚ƒ“ƒh‚̇¬ | ŽY‹Æ‹Zp‘‡Œ¤‹†ŠƒiƒmƒJ[ƒ{ƒ“ƒZƒ“ƒ^[ | ŒÃ‰ê@‹`‹I |
‚Vj | Ž_‰»•¨ƒEƒBƒXƒJ[‚̇¬‚Ææ’[‰ž—p | ’·‰ª‹Zp‰ÈŠw‘åŠw | Ä“¡@Gr |
‚Wj | ”M‚b‚u‚c–@‚ð—p‚¢‚½ƒuƒ‰ƒV󑽑wƒJ[ƒ{ƒ“ƒiƒmƒ`ƒ…[ƒu‚Ì‚‘¬¬’· | ‘åã•{—§‘åŠw‘åŠw‰@HŠwŒ¤‹†‰È•‚i‚r‚sŒ¤‹†¬‰ÊŠˆ—pƒvƒ‰ƒU‘åã | ’†ŽR@ŠìäÝ |
@
¡‘æ‚S‚O‰ñ‚b‚u‚cŒ¤‹†‰ïi•½¬16”N12ŒŽ10A–¼ŒÃ‰®‘åŠwHŠwŒ¤‹†‰È“d‹CŒn‰ï‹cŽºj
‚Pj | ‚c‚k‚b‚ÌŒ»ó‚Æ“W–] | “ú–{ƒAƒCEƒeƒBEƒGƒt(Š”) | ‘匴@‹v“T |
‚Qj | SiC/SiC•¡‡Þ—¿‚ÌŠE–Ê‘w‚Ì‚½‚߂̘A‘±‚b‚u‚c–@‚É‚æ‚é‚a‚mƒR[ƒeƒBƒ“ƒOŒú‚³‚̋ψꉻ | ‰F•”‹»ŽY(Š”)‰F•”Œ¤‹†Š | —é–Ø@“¹”V |
‚Rj | ƒJ[ƒ{ƒ“ƒiƒmƒEƒH[ƒ‹‚Ì‘n¬‚ƃ‰ƒWƒJƒ‹§Œäƒvƒ‰ƒYƒ}‚b‚u‚c‘•’u‚Ì»•i‰» | –¼ŒÃ‰®‘åŠw‘åŠw‰@HŠwŒ¤‹†‰È“dŽqî•ñƒVƒXƒeƒ€êU |
–x@Ÿ |
‚Sj | ‚l‚n‚b‚u‚c–@‚É‚æ‚é’‚‰»ƒKƒŠƒEƒ€Œn”¼“±‘̃wƒeƒƒGƒsƒ^ƒLƒVƒƒƒ‹¬’· | –¼ŒÃ‰®H‹Æ‘åŠwE‹É”÷ƒfƒoƒCƒX‹@”\ƒVƒXƒeƒ€Œ¤‹†ƒZƒ“ƒ^[ | ]ì@FŽu |
‚Tj | ”í•¢’´d‡‹à‚É‚¨‚¯‚édŽ¿‘wŽc—¯‰ž—Í[‚³•ûŒü•ª•z‚Ì‘ª’è‚ÉŠÖ‚·‚錤‹† | ŽO•Hƒ}ƒeƒŠƒAƒ‹(Š”)‘‡Œ¤‹†Š | “y‰®@V |
‚Uj | ƒvƒ‰ƒYƒ}CVD‚É‚æ‚é’´‚Í‚Á…”––Œ‚Ì컂Ɖž—p | –¼ŒÃ‰®‘åŠwƒGƒRƒgƒsƒA‰ÈŠwŒ¤‹†‹@\ | ‚ˆä@Ž¡ |
@