平成17年度CVD研究会活動記録
■第41回CVD研究会「第16回夏季セミナー」(平成17年8月18〜19日、ホテルサザンビレッジ)
1) | 含フッ素有機薄膜の合成−超撥水材料の最近の話題− | (財)応用科学研究所 | 鄭 容宝 |
2) | ペロブスカイト型Mn酸化物のMOCVD | 京都大学大学院工学研究科・電子工学専攻 | 中村 敏浩 |
3) | 塩化金属還元気相成長法による成膜技術の開発 | 三菱重工業(株)先進技術研究センター |
坂本 仁志 |
4) | 電磁鋼板へのCVD技術の適用 | JFEスチール(株)スチール研究所 | 山口 広 |
5) | 切削工具用(TiCrAl)N膜の開発 | (株)神戸製鋼所・材料研究所 | 山本 兼司 |
6) | DLC-Siコーティング技術の開発 | (株)豊田中央研究所・金属基盤研究室 | 太刀川 英男 |
7) | 高温ガス炉用被覆粒子燃料の被覆層 | 日本原子力研究所・物質科学研究部 | 湊 和生 |
8) | ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜の合成 | 東京工業大学 | 大竹 尚登 |
■第42回CVD研究会(平成17年12月2日、名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー)
1) | マイクロ波表面プラズマCVDによるカーボン薄膜の作成 | 中部大学工学部 | 梅野 正義 |
2) | 対向拡散CVD法による水素分離膜の開発 | 東京大学大学院工学系研究科 | 中尾 真一 |
3) | エアロゾルデポジション(AD)法と常温衝撃固化現象 | 産業技術総合研究所 |
明渡 純 |
4) | プラズマCVD、Cat-CVD、熱CVDによるSiC薄膜の成長: 〜 300℃でのSiC微結晶育成に向けて 〜 |
東京理科大学理学部 | 金子 聰 |
5) | 基板上でのナノ粒子の自然形成の基礎と応用 | 東京大学大学院工学系研究科 | 野田 優 |
6) | 新規カーボンナノマテリアルの創製とキャラクタリゼーション | 三重大学工学部 | 小塩 明 |