平成17年度CVD研究会活動記録

第41回CVD研究会「第16回夏季セミナー」(平成17年8月18〜19日、ホテルサザンビレッジ)

1) 含フッ素有機薄膜の合成−超撥水材料の最近の話題− (財)応用科学研究所   鄭 容宝
2) ペロブスカイト型Mn酸化物のMOCVD  京都大学大学院工学研究科・電子工学専攻 中村 敏浩
3) 塩化金属還元気相成長法による成膜技術の開発

三菱重工業(株)先進技術研究センター

坂本 仁志
4) 電磁鋼板へのCVD技術の適用  JFEスチール(株)スチール研究所 山口 広
5) 切削工具用(TiCrAl)N膜の開発   (株)神戸製鋼所・材料研究所 山本 兼司
6) DLC-Siコーティング技術の開発 (株)豊田中央研究所・金属基盤研究室 太刀川 英男
7) 高温ガス炉用被覆粒子燃料の被覆層  日本原子力研究所・物質科学研究部 湊 和生
8) ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜の合成 東京工業大学 大竹 尚登

 

第42回CVD研究会(平成17年12月2日、名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー)

1) マイクロ波表面プラズマCVDによるカーボン薄膜の作成 中部大学工学部 梅野  正義
2) 対向拡散CVD法による水素分離膜の開発 東京大学大学院工学系研究科 中尾  真一
3) エアロゾルデポジション(AD)法と常温衝撃固化現象

産業技術総合研究所

明渡 純
4) プラズマCVDCat-CVD、熱CVDによるSiC薄膜の成長:
300℃でのSiC微結晶育成に向けて 〜 
東京理科大学理学部 金子 聰
5) 基板上でのナノ粒子の自然形成の基礎と応用  東京大学大学院工学系研究科 野田 優
6) 新規カーボンナノマテリアルの創製とキャラクタリゼーション 三重大学工学部 小塩 明