平成18年度CVD研究会活動記録
■第43回CVD研究会「第17回夏季セミナー」(平成18年8月17〜18日、滋賀県立長浜ドーム宿泊研修館)
1) | Hot-wire CVD法によるSi系薄膜太陽電池用TiO2薄膜の作製 | 岐阜大学 | 吉田憲充 |
2) | 金属沿面伝搬マイクロ波による高密度プラズマ生成と微小円管内面プラズマ処理への応用 | 名古屋大学大学院工学研究科 | 上坂裕之 |
3) | 多結晶Si薄膜の低温堆積技術−反応性熱CVD法の開発− | 東京工業大学 | 半那純一 |
4) | トライボマテリアルとしてのダイヤモンド、DLCの新展開 | 日本工業大学 | 竹内貞雄 |
5) | 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング | 物質・材料研究機構 | 岡田勝行 |
6) | CVD法による圧電体圧膜合成と評価 | 東京工業大学 | 舟窪 浩 |
7) | ミストCVD法による酸化物薄膜の成長 | 京都大学国際融合創造センター | 藤田静雄 |
8) | Ni-Cナノクラスターを用いた表面波プラズマによるカーボンナノ材料の低温成長 | 静岡大学創造科学技術大学院 | 永津雅章 |
■第44回CVD研究会(平成18年11月30、名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー)
1) | 有機液体原料を用いたHWCVD法によるSiCN膜の堆積とその特性 | 九州工業大学 | 和泉 亮 |
2) | プラズマガス凝縮法で作製した遷移金属ナノ粒子の構造と物性 | 名古屋工業大学 | 隅山兼治 |
3) | 触媒活性化CVD法によるカーボンマイクロコイルの合成と特性 | 岐阜大学 | 陳 秀琴 |
4) | カーボンナノファイバーの室温合成とその応用 | 名古屋工業大学大学院工学研究科 | 種村真幸 |
5) | 次世代プラズマコーテイング/薄膜化技術 | 東京大学大学院工学研究科 | 神原 淳 |
6) | プラズマCVD法による酸化チタン薄膜の形成と親水性特性 | 茨城大学工学部 | 山内 智 |