平成8年度CVD研究会活動記録
■第23回CVD研究会「第7回夏季セミナー」(平成8年8月22〜23日、サンピア岐阜[厚生年金健康福祉センター])
1) | 表面処理とセラミック組織設計 | JFCC | 松原秀彰 |
2) | ダイヤモンド膜、DLCの応用と課題 | 松下電器産業(株) | 三谷 力 |
3) | ガスデポジション法による超微粒子薄膜の形成法 | 真空冶金(株) | 淵田英嗣 |
4) | 傾斜機能セラミックスのCVD | 室蘭工業大学 | 佐々木 眞 |
5) | CVD被覆工具の性能に及ぼす膜組織の影響 | 東芝タンガロイ(株) | 今村昭嗣 |
6) | CVDによる炭素―窒素化合物の合成と電気化学的特性 | 京都大学工学研究科 | 中島 剛 |
7) | 第13回CVD国際会議報告 | 愛知工業大学 | 杉山幸三 |
8) | CVD関連文献タイトルサービス | 岐阜大学工学部 | 元島栖二 |
■第24回CVD研究会(平成8年12月11日、京大会館)
1) | イオン化CVDによるTEOS/O3膜の形成 | 大阪府立大学先端科学研究所 | 足立元明 |
2) | 高エネルギー・プラズマ複合CVDによる被膜形成 | 石川島播磨重工業(株)技術研究所 | 中井宏 |
3) | セラミック膜中に存在する欠陥の形態とその電気化学的手法による評価 | 工学院大学工学部 | 木村雄二 |
4) | ダイヤモンドの高密着性コーティング | 名古屋大学理工科学総合研究センター | 伊藤秀章 |