平成9年度CVD研究会活動記録

第25回CVD研究会「第8回夏季セミナー」(平成9年8月21〜22日、滋賀厚生年金休暇センター

1) 多様な気相SiCの成長カイネティクス 東京理科大学理学部 金子 聰
2) CVD法で作製した触媒の構造と触媒作用 東京大学大学院理学研究科 岩澤康裕
3) 膜内の応力測定と密着性の評価 広島県西部工業技術センター 筒本隆博
4) プラズマCVD法によるパイプ内面へのTiNコーティング 住友電工() 大原久典
5) 反応器内ガス濃度(計算)分布とCVD-TiN膜のミクロ構造との関係 東北大学工学部 吉川 昇
6) CVI法によるC/C複合材料の形成と評価 川崎重工業() 酒井昭仁
7) CVI法による耐熱フィルターの作製 愛知工業大学 大澤善美
8) CVD関連文献タイトルサービス  岐阜大学工学部 元島栖二

 

第26回CVD研究会(平成9年12月2日、愛知厚生年金会館

1) パルス放電プラズマCVDによるダイヤモンド膜の作製  愛知教育大学 野田三喜男
2) CVDによる超微粒子合成プロセスの評価  広島大学工学部 奥山喜久夫
3) CVDを利用した鋳型炭素化法による新規炭素材料の合成 東北大学反応化学研究所 京谷 隆
4) メチール・トリ・クロロシランを用いたプラズマCVD法によるシリコンカーバイド膜の作成とそのプロセスの解析 東京理科大学理学部 金子 聰
5) プラズマCVDによるF添加SiO2薄膜の特性 ()東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所  宮島秀史
6) CVD国際会議(1997/8/319/5, Paris)報告 愛知工業大学 杉山幸三