CVD研究会今後の予定

令和7年度は，第83回CVD研究会を(一社)表面技術協会高機能トライボ表面プロセス部会と共同主催し、5月9日(金)に岐阜大学TOIC棟で開催します。第84回研究会(夏季セミナー)は令和7年8月21日(木)～22日(金)に熊本で開催し、JASMを訪ねます。第85回CVD研究会は例年通り12月に開催します。9日(火)に名古屋で開催します。

第83回CVD研究会・高機能トライボ表面プロセス部会第26回例会・第5回c-ARPプラズマセミナー

第83回CVD研究会は、下記の通り、(一社)表面技術協会高機能トライボ表面プロセス部会ならびに岐阜大学工学部附属プラズマ応用研究センターとの共同主催で行います。初めての試みになります。

令和7年5月9日(金) 13:00 ～ 17:00（研究会）、17:30～19:30（情報交換会）
岐阜大学 TOIC棟（OKB岐阜大学プラザ1階）（岐阜大学構内正門を入りすぐ右）
主催　(一社)表面技術協会高機能トライボ表面プロセス部会，CVD研究会，国立大学法人東海国立大学機構岐阜大学工学部附属プラズマ応用研究センター
共催　化学工学会反応工学部会CVD反応分科会

プログラム（予定。変更の可能性あり）
13:00～13:05	開会挨拶
13:05～13:55	「スーパーコンピュータを活用したダイヤモンドライクカーボンによる超低摩擦・超低摩耗実現のための計算科学シミュレーション」	東北大学金属材料研究所　久保百司氏
13:55～14:45	「高活性原料を利用した原子層堆積法による薄膜形成技術の検討・開発（仮）」	大陽日酸(株)　清水秀治氏
14:45～15:00	休憩
15:00～15:50	「サムコのALDプロセス開発（Thermal ALDとPEALD）（仮）」	サムコ(株)　古谷直大氏
15:50～16:40	「工具のCVD膜開発（仮）」	三菱マテリアル(株)　講演者調整中
16:40～16:45	閉会挨拶、名刺交換
17:15～17:30	バス移動
17:30～19:30	情報交換会
19:30～	岐阜駅へバス移動

参加費	CVD研究会会員	4,000円
	共催団体（大学・国公研）	6,000円
	共催団体 (企業)	10,000円
	一般	15,000円
	学生	2,000円
情報交換会参加費	6,000円
申込締切	令和7年4月21日(月) 12時
申込方法	https://forms.gle/FJWZKgP2J6d9GeWRAよりお申し込みください。シンポジウムおよび情報交換会の参加費合計額を、以下の口座へお振り込みください。申し訳ございませんが、今回はクレジットカード決済の取り扱いはございません。請求書、領収書が必要な方は、事務局にご連絡ください。三菱UFJ銀行　洛西出張所普通口座：３７４１２２０口座名義：ＣＶＤ研究会事務局河瀬元明（シーウ゛イテ゛イーケンキュウカイ　カワセ）（漢字名とカナ名の不一致は銀行のシステムの制限によるものです）なお、当研究会はインボイス制度の適格請求書発行事業者に登録しておりません。ご理解くださいますようお願い申し上げます。
（お問い合わせ先）	CVD研究会　（会長河瀬元明, 事務局影山美帆）　　　　　　　　〒615-8510　京都市西京区京都大学桂

第84回CVD研究会(第34回夏季セミナー)

第84回CVD研究会は、下記の通り、熊本市で行います。話題の JASM 熊本工場を訪問します（ただし、生産設備は見られません。）

令和7年8月21日(木) 13:00 ～ 8月22日(金) 12:00
熊本市民会館シアーズホーム夢ホール（熊本市）ならびに Japan Advanced Semiconductor Manufacturing 株式会社(JASM) 熊本工場
共催　化学工学会反応工学部会CVD反応分科会

プログラム（予定。変更の可能性あり）
1日め 8/21(木)
13:15～13:20	開会挨拶
13:20～14:10	「（未定）」	ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)	(依頼中) 氏
14:10～15:00	「（ECRスパッタとECR-CVD）」	(株)日本製鋼所イノベーションマネジメント本部イノベーション企画部	(調整中) 氏
15:00～15:10	休憩
15:10～16:00	「プラズマプロセスによる機能性材料の合成技術」	長崎大学大学院総合生産科学研究科教授	大島多美子氏
16:00～17:00	「切削工具のためのCVD技術：基礎から最先端応用まで」	京セラ(株) 鹿児島川内工場機械工具事業本部機械工具材料開発部	谷渕栄仁氏
宿泊	熊本グリーンホテルならびに東横イン熊本新市街
2日め 8/22(金)
8:30～9:00	(バス移動)	ホテル～熊本大学
9:00～10:00	大学訪問	熊本大学工学部半導体デジタル研究教育機構百瀬研究室ならびに半導体関係施設
10:00～10:30	(バス移動)	熊本大学～JASM熊本工場
10:30～11:30	工場訪問	Japan Advanced Semiconductor Manufacturing 株式会社(JASM)熊本工場
11:30～12:00	バス移動	JASM熊本工場～JR肥後大津駅～熊本空港

参加費	CVD研究会業界会員，業界個人会員	33,000円
	CVD研究会個人会員	24,000円
	共催・協賛団体会員(大学・国公立研究機関関係者)	29,000円
	共催・協賛団体会員(企業関係者)	42,000円
	一般	48,000円
	学生	16,000円
定員	29名
申込締切	令和7年8月6日(水) 15時（締め切り前でも定員に達し次第申込受付を終了させていただきます。）
申込方法	(準備中)よりお申し込みください。シンポジウムおよび情報交換会の参加費合計額を、以下の口座へお振り込みください。申し訳ございませんが、今回はクレジットカード決済の取り扱いはございません。請求書、領収書が必要な方は、事務局にご連絡ください。三菱UFJ銀行　洛西出張所普通口座：３７４１２２０口座名義：ＣＶＤ研究会事務局河瀬元明（シーウ゛イテ゛イーケンキュウカイ　カワセ）（漢字名とカナ名の不一致は銀行のシステムの制限によるものです）なお、当研究会はインボイス制度の適格請求書発行事業者に登録しておりません。ご理解くださいますようお願い申し上げます。
（お問い合わせ先）	CVD研究会　（会長河瀬元明, 事務局影山美帆）　　　　　　　　〒615-8510　京都市西京区京都大学桂