CVD研究会今後の予定
令和7年度は,第83回CVD研究会を(一社)表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会と共同主催し、5月9日(金)に岐阜大学TOIC棟で開催します。第84回研究会(夏季セミナー)は令和7年8月21日(木)〜22日(金)に熊本で開催し、JASMを訪ねます。第85回CVD研究会は例年通り12月に開催します。9日(火)に名古屋で開催します。
第83回CVD研究会・高機能トライボ表面プロセス部会第26回例会・第5回c-ARPプラズマセミナー
第83回CVD研究会は、下記の通り、(一社)表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会ならびに岐阜大学工学部附属プラズマ応用研究センターとの共同主催で行います。初めての試みになります。
令和7年5月9日(金) 13:00 〜 17:00(研究会)、17:30〜19:30(情報交換会)岐阜大学 TOIC棟(OKB岐阜大学プラザ1階)(岐阜大学構内 正門を入りすぐ右)
主催 (一社)表面技術協会 高機能トライボ表面プロセス部会,CVD研究会,国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学 工学部附属プラズマ応用研究センター
共催 化学工学会反応工学部会CVD反応分科会
プログラム(予定。変更の可能性あり) | |||
開会挨拶 | |||
13:05〜13:55 | 「スーパーコンピュータを活用したダイヤモンドライクカーボンによる超低摩擦・超低摩耗実現のための計算科学シミュレーション」 | 東北大学 金属材料研究所 久保 百司 氏 | |
13:55〜14:45 | 「高活性原料を利用した原子層堆積法による薄膜形成技術の検討・開発(仮)」 | 大陽日酸株式会社 清水 秀治 氏 | |
14:45〜15:00 | 休憩 | ||
15:00〜15:50 | 「サムコのALDプロセス開発(Thermal ALDとPEALD)(仮)」 | サムコ株式会社 古谷 直大 氏 | |
15:50〜16:40 | 「工具のCVD膜開発(仮)」 | 三菱マテリアル株式会社 講演者調整中 | |
16:40〜16:45 | 閉会挨拶、名刺交換 | ||
17:15〜17:30 | バス移動 | ||
17:30〜19:30 | 情報交換会 | ||
岐阜駅へバス移動 |
CVD研究会会員 | 4,000円 | |
6,000円 | ||
共催団体 (企業) | 10,000円 | |
一般 | 15,000円 | |
学生 | 2,000円 | |
6,000円 | ||
令和7年4月21日(月) 12時 | ||
https://forms.gle/FJWZKgP2J6d9GeWRAよりお申し込みください。シンポジウムおよび情報交換会の参加費合計額を、以下の口座へお振り込みください。申し訳ございませんが、今回はクレジットカード決済の取り扱いはございません。 請求書、領収書が必要な方は、事務局にご連絡ください。 三菱UFJ銀行 洛西出張所
なお、当研究会はインボイス制度の適格請求書発行事業者に登録しておりません。ご理解くださいますようお願い申し上げます。普通口座:3741220 口座名義: CVD研究会事務局河瀬元明 (シーウ゛イテ゛イーケンキュウカイ カワセ) (漢字名とカナ名の不一致は銀行のシステムの制限によるものです) |
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CVD研究会 (会長 河瀬元明, 事務局 影山美帆) 〒615-8510 京都市西京区京都大学桂 |