CVD研究会平成19年度活動記録

平成19年8月20日(月)～21日(火)
ホテルサザンビレッジ(滋賀県彦根市）

８月２０日(月)
13:00～14:00	「反応性RF熱プラズマを用いたセラミックス材料のナノ構造制御」	物質・材料研究機構	石垣　隆正　氏
14:00～15:00	「熱プラズマCVD法によるアルコキシド溶液からのTiN基－窒化物の複合膜および2層膜のコーティグと耐摩耗性」	北海道大学大学院工学研究科	嶋田　志郎　氏
15:20～16:10	「SAICAS法による薄膜のはく離強度評価」	ダイプラ・ウィンテス株式会社	西山　逸雄　氏
16:10～17:00	「DLC膜の耐久性向上と医療応用」	静岡県工業技術研究所富士工業技術支援センター	真野　毅　氏
17:00～17:50	「微細構造を制御した高耐久性固体潤滑膜の形成とその特性」	日本工業大学工学部システム工学科	渡部　修一　氏
８月２１日(火)
9:00～10:00	「特殊レーザピーニングによる低温表面処理」	名古屋大学大学院工学研究科	沓名　宗春　氏
10:00～11:00	「長いフレームの大気プラズマジェットの開発と表面処理への応用」	豊田工業大学	原　民夫　氏
11:00～11:50	「対向拡散CVD法による水素透過シリカ膜の開発」	芝浦工業大学工学部応用化学科	野村　幹弘　氏

平成19年12月3日(月)
名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー

10:30-11:20	「CVD-SiC基板上に形成した大面積カーボンナノチューブ膜」	名古屋大学エコトピア科学研究所	楠美智子氏
11:20-12:10	「炭酸ガスを用いたプラズマCVD～シリコン酸・窒化膜への応用～」	東北大学特定領域研究推進室	熊野勝文氏
13:20-14:10	「非平衡プラズマによる金属酸化物・金属窒化物粒子の生成」	広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻	島田学氏
14:10-15:00	「フラッシングスプレーCVD法による大口径ウエハへの薄膜の形成」	同志社大学大学院工学研究科機械工学専攻	大嶋元啓氏
15:20-16:10	「環境に優しいDLCコーティングの現状と今後の動向」	日本アイ・ティ・エフ株式会社技術部	中東孝浩氏
16:10-17:00	「DLCコーティングの動向とセグメント構造DLC膜の特性評価」	名古屋大学大学院工学研究科マテリアル理工学専攻	大竹尚登氏